芯片制造關鍵設備再突破!離子注入機實現(xiàn)全譜系產(chǎn)品國產(chǎn)化

編輯:王瑞穎|2021-03-17 11:17:53|來源:新華社

中國電子科技集團有限公司17日對外公布,該集團旗下裝備子集團攻克系列“卡脖子”技術,已成功實現(xiàn)離子注入機全譜系產(chǎn)品國產(chǎn)化,包括中束流、大束流、高能、特種應用及第三代半導體等離子注入機,工藝段覆蓋至28nm,為中國芯片制造產(chǎn)業(yè)鏈補上重要一環(huán),為全球芯片制造企業(yè)提供離子注入機一站式解決方案。(記者溫競華,海報設計:賈伊寧)

 

芯片制造關鍵設備再突破!離子注入機實現(xiàn)全譜系產(chǎn)品國產(chǎn)化

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